刻度nMOPC
Calibre®NMOPC是第三代光学近距离校正(OPC)工具,它扩展了Calibre的分辨率增强技术(RET)产品,用于亚65纳米(NM)工艺技术。calibre nmopc工具和配套的opc验证工具,,Calibre OpcVerify™,通过以业界最高的性能和最低的拥有成本提供卓越的模拟精度,开创了计算光刻的新时代。
Calibre NMOPC工具提供一流的精度,速度,以及拥有成本。像所有Calibre系列产品一样,Calibre NMOPC在完全集成的Calibre分层几何引擎上运行,独特地使完全集成的设计能够使用统一的命令语言来屏蔽流。Calibre nmopc还支持OASIS输出格式,以最小化输出文件大小。在Calibre nmopc中简化的层次处理算法使工具能够利用自然的设计层次来提高周转时间,计算效率,与扁平加工工具相比,吞吐量更高。
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特点和优点
- 稀疏和密集模拟的选择,可逐层选择
- 过程窗口优化opc
- 紧凑的抗蚀剂建模能力
- 设计意图感知校正算法