米斯科普特
Calibre®Maskopt™通过对断裂数据进行高级预处理，降低总放炮次数，从而降低掩模成本和掩模写入时间。Calibre Maskopt可以在45纳米及以下的高级技术节点的数据集上实现多达20%的快照数减少。
基于模型的OPC的布局调整造成了大量的断裂，可移动段。Calibre-Maskopt校准后OPC数据中过多的点动，不影响光刻过程临界尺寸（CD）控制的结果质量。两个对立面的适当对齐，错位的点动可以消除一个骨折后的矩形。整个布局，这种对齐方式大大简化了OPC后的数据，显著减少数据量，断开运行时，以及掩模书写时间。maskopt的输出可以通过Calibre OpcVerify™和校准MDPVerify™.
特点和优点
- 在不降低掩模质量的情况下，简化和减少OPC后数据量
- 在45nm及以下的数据集上，放炮次数最多减少20%
- 小数字计数最多减少50%
- 减少掩模写入时间
- 降低掩模写入成本
- 减少掩码数据量
- 利用集成的掩模数据准备流程提高生产效率
