口径Mdpmerge

Calibre®MDPMerge™实现从物理验证和分辨率增强技术(RET)到完成掩模数据准备的连续流程。后口径断裂™以vsb11格式生成单独的模式文件,优化为最快的掩模写入和严格的CD控制,Calibre MDPMerge为整个芯片组装一个工作平台。

Calibre MDPMerge通过简化写入顺序优化流,同时对邻近效应进行精确校正。Calibre MDPMerge基于Calibre分层几何处理引擎,采用并行处理技术,提供快速处理速度和输出优化,以实现高效的掩模写入。

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