口径MPCro

Calibre®MPCPro是一种解决电子束光刻和掩模蚀刻过程中产生的系统误差的方法。Calibre OpcPro™光学过程校正技术。Calibre MPCPro修正了雾化等过程效果,开发和蚀刻加载,以及Ebeam邻近效应。

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