Calibre®MPCPro是一种解决电子束光刻和掩模蚀刻过程中产生的系统误差的方法。Calibre OpcPro™光学过程校正技术。Calibre MPCPro修正了雾化等过程效果,开发和蚀刻加载,以及Ebeam邻近效应。
Calibre Opcpro提供复杂IC布局的全芯片光学和工艺校正,以提高产量和工艺纬度。使用面向批处理的流,Calibre Opcpro对布局进行更改,以补偿深亚微米制造过程中固有的光刻变形。了解更多
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