基于机器学习的晶圆缺陷检测
白皮书
未能检测到产量杀伤缺陷可能是由于缺乏在蚀刻，CMP和其他层间过程变化方面的充分理解和建模。在本文中，我们提出了一种快速准确的缺陷检测流，机器学习（ML）方法，以解决来自不同工艺阶段的复合效果。
未能检测到产量杀伤缺陷可能是由于缺乏在蚀刻，CMP和其他层间过程变化方面的充分理解和建模。在本文中，我们提出了一种快速准确的缺陷检测流，机器学习（ML）方法，以解决来自不同工艺阶段的复合效果。
