自动分类图案掩模缺陷

图案化掩模需要在晶圆制造工厂的保证，以查找和修复随时间发展的缺陷。布局数据的不可用性使屏蔽上识别不同模式区域的任务，尤其是辅助功能。Caliber Fab Solutions软金宝博滚球专家件表征并分类了检查机报告的图像的掩模缺陷。

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