证明预测性设计和过程洞察力

未能检测到成品率杀手缺陷可能是由于缺乏对蚀刻、CMP以及其他层间工艺变化的充分理解和建模。在本文中，我们提出。。。

Calibre产量工程解决方案汇集了从设计到工厂生态系统的数据源，实现了先进的产量诊断、根本原因分析以及主动式设计和过程指导。

在本文中，我们提出了一个完整的MPC校准和验证周期，使用现有的，经验证的掩模工艺结合一个新的MBMW系统。